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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8英尺晶圆生产制造线匹配的超超纯水系統,日常引起含硅污水150吨。污海里虽无天价属,但硅水平高易水垢,且功率电阻率需达到了18MΩ·cm能够鑫霖环保废水工作。同一工作生产工艺未能满足了新废止的《电子无线鑫霖环保水被污染的物减排规范》(GB39731-2020)相当减排卫生防护距离。 废水处理组成优势特点 基本废弃物物 :橡胶胶体部分硅(200-300mg/L)、颗粒剂硅(粒度0.1-1μm) 比较特殊需要 :TOC<10μg/L,硼成分<5μg/L 饮用水质特征参数 :低纯水电导率(<50μS/cm)但硅氧化物形态特征繁琐 操作工艺技术步骤 自主创新所采用"梯级膜分割+电去正离子"组成加工过程: 微滤处理过程 :1μm瓷砖膜屏蔽广告大小粒硅,通量保持80LMH 化合物互相交换树脂胶 :D201大孔环氧树脂决定性吸出硅酸碳原子 中级RO系统的 :首段回报率60%,最后段选择高脱硼膜电子器件 EDI电去亚铁离子 :直流电压相对密度2A/m²,一直快速清理的残留物铁离子 紫外线消毒杀菌 :254nm红外光谱线含量40mJ/cm² 的技术新亮点 设计专业阻硅剂(有机化学胺类分手后复合物),廷缓膜污染源过渡期3倍 EDI功能模块研发流道构思,硅彻底清除率优化至99.8% 再线硅进行分析仪器(测试范畴0.1-500μg/L)完成精确保持 正常运行取得成效 经3方验测: 总硅从280mg/L降到0.05mg/L 硼含磷量从8μg/L下降0.3μg/L 系统的收旧率从原40%大幅提升至68% 膜撤换生长期延长至至5年,年行驶成本费用变低35%

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