该厂为8英尺晶圆生产制造线匹配的超超纯水系統,日常引起含硅污水150吨。污海里虽无天价属,但硅水平高易水垢,且功率电阻率需达到了18MΩ·cm能够鑫霖环保废水工作。同一工作生产工艺未能满足了新废止的《电子无线鑫霖环保水被污染的物减排规范》(GB39731-2020)相当减排卫生防护距离。
废水处理组成优势特点
基本废弃物物
:橡胶胶体部分硅(200-300mg/L)、颗粒剂硅(粒度0.1-1μm)
比较特殊需要
:TOC<10μg/L,硼成分<5μg/L
饮用水质特征参数
:低纯水电导率(<50μS/cm)但硅氧化物形态特征繁琐
操作工艺技术步骤
自主创新所采用"梯级膜分割+电去正离子"组成加工过程:
微滤处理过程
:1μm瓷砖膜屏蔽广告大小粒硅,通量保持80LMH
化合物互相交换树脂胶
:D201大孔环氧树脂决定性吸出硅酸碳原子
中级RO系统的
:首段回报率60%,最后段选择高脱硼膜电子器件
EDI电去亚铁离子
:直流电压相对密度2A/m²,一直快速清理的残留物铁离子
紫外线消毒杀菌
:254nm红外光谱线含量40mJ/cm²
的技术新亮点
设计专业阻硅剂(有机化学胺类分手后复合物),廷缓膜污染源过渡期3倍
EDI功能模块研发流道构思,硅彻底清除率优化至99.8%
再线硅进行分析仪器(测试范畴0.1-500μg/L)完成精确保持
正常运行取得成效
经3方验测:
总硅从280mg/L降到0.05mg/L
硼含磷量从8μg/L下降0.3μg/L
系统的收旧率从原40%大幅提升至68%
膜撤换生长期延长至至5年,年行驶成本费用变低35%