该晶圆开发厂坐落于华南中南部，常见产量8寸大半导晶圆，日访问量污废水 废气量约800吨。伴随产量时中操作丰富氢氧化钠通过晶圆蚀刻，会造成污废水 中氟化物氧浓度高至200-300mg/L，远超地方废气规定（10mg/L如下）。 废气因素及由来 废水处理主要存在两个方式： 晶圆蚀刻工作 ：含高质量浓度氟化物（HF）、盐酸及多量血本属 普通机戒机戒抛光处理（CMP）废水处理工艺 ：含納米级硅小粒、有机质络合剂 专用设备洁净化工废水 ：含异丙醇、氯离子等充分物 清理方案方案 用于"化学物质凝固+混泥土凝固+深层次滤过"三阶段工作软件： 三级清理 ：添加氯化钙和氢脱色钙，构成氟化钙水解，氟化物除去率达85% 二次净化处理 ：获取PAC（配位聚铝）和PAM（pp聚丙烯酰胺），删去胶体溶液态的污染 三级分销加工处理 ：用多媒质过滤水器和催化家用活性炭吸收，喷水氟化物溶液浓度不稳在8mg/L有以下 关键因素专用设备有：pH定时转换系统化、斜管乳浊液池、板框压滤机厂家（污泥处理甩干）。 终极结果 大型项目启动三年期监测数剧数剧提示 ： 氟化物最低值含量：7.2mg/L（如果低于国内规格） COD的还原率：92% 污泥处理含水量率：≤65% 年回报氟化钙副设备约150吨，变现影视秸秆综合凭借凭借